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经营范围
发明名称
COATING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0380962(A)
申请公布日期
1991.04.05
申请号
JP19890217352
申请日期
1989.08.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
NOMURA HISAFUMI;TSUKAGOSHI MASAKI;MATSUMURA KIMIO
分类号
B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027
主分类号
B05C5/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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