发明名称 COATING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0380962(A) 申请公布日期 1991.04.05
申请号 JP19890217352 申请日期 1989.08.25
申请人 HITACHI LTD 发明人 NOMURA HISAFUMI;TSUKAGOSHI MASAKI;MATSUMURA KIMIO
分类号 B05C5/00;B05C11/08;H01L21/027 主分类号 B05C5/00
代理机构 代理人
主权项
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