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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0379079(A) 申请公布日期 1991.04.04
申请号 JP19890216321 申请日期 1989.08.22
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIOTANI YOSHIMI;NOZAKI SHIGEKI
分类号 H01L21/76;H01L21/316;H01L21/336;H01L29/78 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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