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<p>Transport commandé par programme de tranches semi-conductrices (12) ou d'autres substrats entre une pluralité de chambres de réaction (28, 29, 30). L'appareil comprend un sas de chargement (10) de cassettes servant à faire entrer une cassette (11) qui contient une pluralité de tranches (12). Une première chambre de transfert (14) possédant une pluralité de portes (13 17 19), dont une est couplée au sas de chargement de cassettes (10), transporte des tranches (12) à travers la pluralité de portes (13, 17, 19). Une deuxième chambre de transfert (24) possède une pluralité de portes (23, 25, 26, 27) reliées à des postes de traitement (28, 29, 30). Une chambre de passage (20) comprend des postes (21, 22) qui servent à faire entrer et sortir les tranches et est reliée par les portes (19, 23) aux premier et deuxième postes de transfert (14, 24). Un premier et un deuxième bras robotiques (18, 31) sont disposés dans les première et deuxième chambres de transfert (14, 24) afin de transporter des tranches (12) entre le sas de chargement (10), la chambre de passage (20) et les postes de traitement (28, 39, 30). Un système de contrôle (36) est monté avec la chambre de passage (20). Le système est modulaire et peut être agrandi verticalement ou horizontalement.</p> |
