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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0315544(Y2)	申请公布日期	1991.04.04
申请号	JP19840078120U	申请日期	1984.05.29
申请人		发明人
分类号	C23C14/36;C23C14/22;C23C14/24;C23C14/35;C23C14/48;(IPC1-7):C23C14/22	主分类号	C23C14/36
代理机构		代理人
主权项
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