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发明名称 METHOD OF IMPROVING SILICON MONOCRYSTAL FILM
摘要
申请公布号 JPH0379023(A) 申请公布日期 1991.04.04
申请号 JP19890216511 申请日期 1989.08.22
申请人 NEC CORP 发明人 KITAJIMA HIROSHI
分类号 H01L21/20;H01L21/324;H01L21/84 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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