发明名称 MOLECULAR BEAM CRYSTAL GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0380186(A) 申请公布日期 1991.04.04
申请号 JP19890213447 申请日期 1989.08.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 IGARASHI TAKESHI
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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