| 发明名称 |
(A) ;COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE AND SURFACE PROCESSING THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0324771(B2) |
申请公布日期 |
1991.04.04 |
| 申请号 |
JP19810024327 |
申请日期 |
1981.02.23 |
| 申请人 |
HITACHI SEISAKUSHO KK;NIPPON DENSHIN DENWA KK |
发明人 |
SAITO NORIO;OZASA SUSUMU;SHIMAZU NOBUO;OOKUBO TSUNEO |
| 分类号 |
H01J37/147;H01J37/153;H01J37/304;H01J37/305;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/147 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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