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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES MUSTERS VON DOTIERTEM POLYSILICIUM.
摘要
申请公布号 DE3677612(D1) 申请公布日期 1991.04.04
申请号 DE19863677612 申请日期 1986.02.18
申请人 STC PLC, LONDON, GB 发明人 SCOVELL, PETER DENIS;BAKER, ROGER LESLIE, CHELMSFORD ESSEX, GB
分类号 H01L27/04;H01L21/20;H01L21/268;H01L21/3205;H01L21/321;H01L21/324;H01L21/331;H01L21/822;H01L23/52;H01L29/73;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/321 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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