发明名称 NEGATIVE TYPE RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION
摘要
申请公布号 JPH0379670(A) 申请公布日期 1991.04.04
申请号 JP19890214944 申请日期 1989.08.23
申请人 NIPPON KAYAKU CO LTD 发明人 WATANABE TAKAO;UMEDA SHINICHI;FUKUNAGA MASANORI;NAGASAWA KOTARO
分类号 G03F7/016;C08K5/29;C08K5/3417;C08K5/3432;C08K5/3437;C08K5/3442;C08K5/357;C08K5/41;C08K5/42;C08L101/00;G03F7/038 主分类号 G03F7/016
代理机构 代理人
主权项
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