发明名称 |
NEGATIVE TYPE RADIATION SENSITIVE RESIN COMPOSITION |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH0379670(A) |
申请公布日期 |
1991.04.04 |
申请号 |
JP19890214944 |
申请日期 |
1989.08.23 |
申请人 |
NIPPON KAYAKU CO LTD |
发明人 |
WATANABE TAKAO;UMEDA SHINICHI;FUKUNAGA MASANORI;NAGASAWA KOTARO |
分类号 |
G03F7/016;C08K5/29;C08K5/3417;C08K5/3432;C08K5/3437;C08K5/3442;C08K5/357;C08K5/41;C08K5/42;C08L101/00;G03F7/038 |
主分类号 |
G03F7/016 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|