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发明名称 DEVICE FOR PRODUCING SINGLE CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH0380181(A) 申请公布日期 1991.04.04
申请号 JP19890215943 申请日期 1989.08.24
申请人 MITSUBISHI MONSANTO CHEM CO;MITSUBISHI KASEI CORP 发明人 KATANO CHIKU;ORITO FUMIO;HIGUCHI YUSAKU;KAWABATA SHINICHIRO;YAJIMA FUMIKAZU
分类号 C30B11/00;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
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