发明名称 COPPER ETCHING SOLUTION COMPOSITION AND ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0379778(A) 申请公布日期 1991.04.04
申请号 JP19890215428 申请日期 1989.08.21
申请人 SANSHIN CHEM IND CO LTD 发明人 YAMAMOTO YOSHINARI;AKASHI SUMIO
分类号 C23F1/18;H05K3/06 主分类号 C23F1/18
代理机构 代理人
主权项
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