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发明名称
FORMATION OF SILICON GATE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR FOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH0378259(A)
申请公布日期
1991.04.03
申请号
JP19890214397
申请日期
1989.08.21
申请人
FUJI ELECTRIC CO LTD
发明人
KOMORI TOSHIO
分类号
H01L23/52;H01L21/3205;H01L29/78
主分类号
H01L23/52
代理机构
代理人
主权项
地址
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