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发明名称 LIGHT-SENSITIVE COMPOSITION AND LIGHT-SENSITIVE COPY MATERIAL PRODUCED THEREWITH
摘要
申请公布号 EP0363776(A3) 申请公布日期 1991.04.03
申请号 EP19890118229 申请日期 1989.10.02
申请人 HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ELSASSER, ANDREAS, DR., DIPL.-CHEM.;GASCHLER, OTFRIED, DIPL.-ING.;MOHR, DIETER, DR. DIPL.-CHEM.
分类号 G03F7/004;G03F7/022;G03F7/105;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/105 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
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