发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0378234(A) 申请公布日期 1991.04.03
申请号 JP19890214643 申请日期 1989.08.21
申请人 ROHM CO LTD 发明人 HIRAI MINORU;SHIMIZU MASAHIKO
分类号 H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
地址