Influence probe.

摘要

Bei einer Influenzsonde mit einer auf einer Seite (3) eines Substrates (1) vorgesehenen Sondenelektrode (4), einer auf diese aufgebrachten Isolierschicht (8) und einer auf der Isolierschicht (8) vorgesehenen, elektrisch leitenden Deckschicht (14), die in demjenigen Bereich der Sondenelektrode (4), auf den Ladung influenziert werden soll, eine Öffnung aufweist, ist vorgesehen, daß das Substrat (1) wenigstens auf der Sondenseite (3) eine ebene Oberfläche aufweist, daß die Sondenelektrode (4), die Isolierschicht (8) und die Deckschicht (14) mittels Dickschicht-Drucktechnik aufgebracht sind, daß die Sondenelektrode (4) von der Isolierschicht (8) und diese wiederum von der Deckschicht (14) vollständig abgedeckt wird und daß die Sondenelektrode (4) durch eine Öffnung (5) des Substrates (1) zu dessen Gegenseite (6) elektrisch durchkontaktiert ist.