发明名称 THIN FILM FORMING APPARATUS
摘要
申请公布号 GB2204596(B) 申请公布日期 1991.04.03
申请号 GB19880003148 申请日期 1987.06.18
申请人 * RICOH COMPANY LIMITED 发明人 WASABURO * OHTA;TADAO * KATURAGAWA;MIKIO * KINOSHITA
分类号 C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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