发明名称 SEMICONDUCTOR PRESSURE TRANSDUCER
摘要
申请公布号 EP0169438(B1) 申请公布日期 1991.04.03
申请号 EP19850108565 申请日期 1985.07.10
申请人 HITACHI, LTD. 发明人 ICHIKAWA, NORIO;TAKEDA, SEIJIRO;TSURUOKA, KAZUHIRO
分类号 G01L9/04;G01L9/00;G01L19/14 主分类号 G01L9/04
代理机构 代理人
主权项
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