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发明名称 PROCESS TO DIMENSIONALLY STABLE TRANSFER OF STRUCTURES WITH A TWO LAYER RESIST
摘要
申请公布号 EP0394739(A3) 申请公布日期 1991.04.03
申请号 EP19900106830 申请日期 1990.04.10
申请人 SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 AHNE, HELLMUT, DR.;LEUSCHNER, RAINER, DR. RER. NAT.;SEZI, RECAI, DR.-ING.;SEBALD, MICHAEL, DR. RER. NAT.;BIRKLE, SIEGFRIED, DR. RER. NAT.
分类号 G03F7/09;G03F7/26;G03F7/40;(IPC1-7):G03F7/09;G03F7/38 主分类号 G03F7/09
代理机构 代理人
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