发明名称 CARRIER TAPE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH0378236(A) 申请公布日期 1991.04.03
申请号 JP19890214165 申请日期 1989.08.22
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 UEDA TETSUYA;SHIMOMURA KO;NAKAGAWA OSAMU;TAKEMURA SEIJI;MICHII KAZUNARI
分类号 H01L21/56;H01L21/60;H01L23/48 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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