发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0377349(A) 申请公布日期 1991.04.02
申请号 JP19890213850 申请日期 1989.08.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 TAKASU YASUHIRO;KAJITANI ATSUHIRO;KISHIMOTO MIKIO
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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