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发明名称 MASK HOLDER
摘要
申请公布号 JPH0377243(A) 申请公布日期 1991.04.02
申请号 JP19890213011 申请日期 1989.08.21
申请人 TOSHIBA SEIKI KK 发明人 TANI JUNICHI
分类号 H01J9/22;H01J29/02 主分类号 H01J9/22
代理机构 代理人
主权项
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