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发明名称 ION SOURCE OF CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0377242(A) 申请公布日期 1991.04.02
申请号 JP19890212466 申请日期 1989.08.18
申请人 JEOL LTD 发明人 YAMAMOTO YOICHI
分类号 H01J27/10;H01J37/08;H01J49/12 主分类号 H01J27/10
代理机构 代理人
主权项
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