发明名称 ULTRASONIC CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0377319(A) 申请公布日期 1991.04.02
申请号 JP19890213090 申请日期 1989.08.21
申请人 DAN KAGAKU:KK 发明人 SASAKI MICHIYA;SASAKI HIROBUMI
分类号 B08B3/12;H01L21/304 主分类号 B08B3/12
代理机构 代理人
主权项
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