发明名称 SEMICONDUCTOR INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0377079(A) 申请公布日期 1991.04.02
申请号 JP19890212958 申请日期 1989.08.21
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MORISHITA MASAHIRO
分类号 G01R31/26;G01R31/28 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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