发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0376241(A) 申请公布日期 1991.04.02
申请号 JP19890213577 申请日期 1989.08.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SEKI HIROAKI;YOSHII YASUSHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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