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发明名称 Method and apparatus for detecting alignment mark of semiconductor device
摘要
申请公布号 US5004925(A) 申请公布日期 1991.04.02
申请号 US19900489224 申请日期 1990.03.06
申请人 FUJITSU LIMITED 发明人 TAKAHASHI, YASUSHI;YASUDA, HIROSHI
分类号 H01L21/027;H01J37/304 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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