发明名称 DEVICE FOR DETERMINING MIS-STRUCTURE PARAMETERS
摘要
申请公布号 SU1638681(A2) 申请公布日期 1991.03.30
申请号 SU19884435492 申请日期 1988.06.02
申请人 TITOV BORIS G,SU;STADCHENKO VIKTOR G,SU;KHARENZHEV VLADIMIR N,SU 发明人 TITOV BORIS G,SU;STADCHENKO VIKTOR G,SU;KHARENZHEV VLADIMIR N,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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