发明名称 DEVICE FOR MANUFACTURING MULTI-LAYER SEMICONDUCTOR STRUCTURES
摘要
申请公布号 SU1638219(A1) 申请公布日期 1991.03.30
申请号 SU19884607199 申请日期 1988.11.22
申请人 FIZIKO-ENERGETICHESKIJ I AN LATVSSR 发明人 BARISS VALDIS O,SU;SILAMIKELIS VIESTURS V,SU
分类号 C30B19/06 主分类号 C30B19/06
代理机构 代理人
主权项
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