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发明名称 CHEMICAL VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH0373527(A) 申请公布日期 1991.03.28
申请号 JP19890209910 申请日期 1989.08.14
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TSUKUNE ATSUHIRO;KOYAMA KENJI;NAKAHIRA JUNYA
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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