发明名称 METAL VAPOR GENERATOR
摘要
申请公布号 JPH0372917(A) 申请公布日期 1991.03.28
申请号 JP19890207977 申请日期 1989.08.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TSUNODA YORIO
分类号 B01D59/34;B01D59/02 主分类号 B01D59/34
代理机构 代理人
主权项
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