| 发明名称 |
HEATING-ELEMENT STRUCTURE IN HEAT TREATMENT APPARATUS FOR MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0373520(A) |
申请公布日期 |
1991.03.28 |
| 申请号 |
JP19890208694 |
申请日期 |
1989.08.12 |
| 申请人 |
MIYAGI OKI DENKI KK;OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HONMA FUMITAKA |
| 分类号 |
H05B3/40;H01L21/205;H01L21/22;H01L21/31 |
主分类号 |
H05B3/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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