发明名称 CHECKING MACHINE
摘要
申请公布号 KR910001843(B1) 申请公布日期 1991.03.28
申请号 KR19870013523 申请日期 1987.11.28
申请人 TOSHIBA CORP. 发明人 KAMAI GOIZI;MODOKAWA SIGEYUKI;HIRATA NORIYUKI
分类号 H01L29/84;B25J13/00;B25J15/06;B25J19/02;G01L7/00;H01L21/683;(IPC1-7):G01M3/02 主分类号 H01L29/84
代理机构 代理人
主权项
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