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发明名称 MANUFACTURE OF III-V COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING METHOD STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH0370124(A) 申请公布日期 1991.03.26
申请号 JP19890204784 申请日期 1989.08.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 FUJII TAKUYA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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