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发明名称
APERTURE CLEANING METHOD FOR PARTICLE BEAM DEVICE AND DEVICE THEREOF
摘要
申请公布号
JPH0367449(A)
申请公布日期
1991.03.22
申请号
JP19890201326
申请日期
1989.08.04
申请人
AKASHI BIIMU TECHNOL KK
发明人
NAKATSUKA HIDEKI
分类号
H01J37/09;H01J37/26
主分类号
H01J37/09
代理机构
代理人
主权项
地址
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