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发明名称 PRECISION GRATING PLATE
摘要
申请公布号 JPH0367101(A) 申请公布日期 1991.03.22
申请号 JP19900023435 申请日期 1990.01.31
申请人 SHIMADZU CORP 发明人 KOEDA MASARU
分类号 G01B7/34;G01Q30/08;G01Q30/20;G01Q40/02;G01Q90/00;H01J37/22;H01L21/302 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
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