| 摘要 |
On utilise une surface (44) de cube à coin à réseau plan très condensé, dans la fabrication d'un écran d'intensification de radiographie. La surface du cube à coin est produite à partir d'un seul cristal de silicium cubique, à l'aide d'un modèle (42) de photoréserve d'un réseau d'orifices (40) triangulaires alignés avec les sens < 110 > du cube dans une surface faciale plane {111} de la tranche (44). Les cellules du cube à coin sont gravées dans la surface de la tranche à l'aide d'un agent de gravure anisotrope, gravant de préférence les plans {100} du réseau cubique. On décrit un procédé de production d'une surface rétroréfléchissante à partir de la tranche (44) de silicium gravée permettant de réaliser l'écran de radiographie au phosphore. |
