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发明名称
摘要
申请公布号	JPH0311887(Y2)	申请公布日期	1991.03.20
申请号	JP19870030692U	申请日期	1987.03.03
申请人		发明人
分类号	H01L21/66;B65D25/04;B65D85/38;G01R31/26;H01L23/00;(IPC1-7):H01L21/66	主分类号	H01L21/66
代理机构		代理人
主权项
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