发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH0366171(A) |
申请公布日期 |
1991.03.20 |
申请号 |
JP19890202587 |
申请日期 |
1989.08.04 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KOMORI KAZUHIRO;NISHIMOTO TOSHIAKI |
分类号 |
H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792 |
主分类号 |
H01L21/8247 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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