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发明名称 ION IMPLANTATION AND DEVICE THEREFOR AND SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT MANUFACTURED BY USING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0366122(A) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 JP19890202519 申请日期 1989.08.04
申请人 HITACHI LTD 发明人 UDA HIDE;OWADA NOBUO
分类号 H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H01J37/20
代理机构 代理人
主权项
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