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经营范围
发明名称
CLEANING APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH0366124(A)
申请公布日期
1991.03.20
申请号
JP19890202997
申请日期
1989.08.04
申请人
FUJITSU LTD
发明人
HIRANO HIROAKI
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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