| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING DISTRIBUTION OF ILLUMINANCE ON ENTRANCE PUPIL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0365623(A) |
申请公布日期 |
1991.03.20 |
| 申请号 |
JP19890200285 |
申请日期 |
1989.08.03 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
INAGAKI AKIRA;SHIBA MASATAKA;AIBA YOSHIHIKO;KOMORIYA SUSUMU |
| 分类号 |
G01J1/02;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G01J1/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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