发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0366170(A) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 JP19890202400 申请日期 1989.08.03
申请人 HITACHI LTD;HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD 发明人 MOCHIZUKI HIROTAKA;NUNOKAWA YASUHIRO
分类号 H01L27/06;H01L21/8249;H01L27/04;H01L29/78 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
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