HYDROGEN BURNING OXIDATIVE DIFFUSION FURNACE,申请号JP19890200267-传众专利搜索

发明名称	HYDROGEN BURNING OXIDATIVE DIFFUSION FURNACE
摘要
申请公布号	JPH0364912(A)	申请公布日期	1991.03.20
申请号	JP19890200267	申请日期	1989.08.03
申请人	NISSAN MOTOR CO LTD	发明人	HIROTA MASAKI
分类号	H01L21/31;H01L21/22	主分类号	H01L21/31
代理机构		代理人
主权项
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