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发明名称
THIN LAYER MONITOR
摘要
申请公布号
EP0267683(B1)
申请公布日期
1991.03.20
申请号
EP19870308748
申请日期
1987.10.02
申请人
UNITED KINGDOM ATOMIC ENERGY AUTHORITY
发明人
FLEMMING, MICHAEL ANTHONY;PLESTED, GRAHAM NICHOLAS
分类号
G01B15/02
主分类号
G01B15/02
代理机构
代理人
主权项
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