发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0366127(A) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 JP19890203603 申请日期 1989.08.04
申请人 SHARP CORP 发明人 TANAKA KENICHI;ONISHI SHIGEO;OKAYAMA MORIYA
分类号 H01L21/76;H01L21/316 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址