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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH0364954(A) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 JP19890201120 申请日期 1989.08.02
申请人 HITACHI LTD;AKITA DENSHI KK 发明人 MASUDA MASACHIKA;KOSHIBA SATORU
分类号 H01L23/50;H05K3/34 主分类号 H01L23/50
代理机构 代理人
主权项
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