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发明名称 METHOD FOR FORMING DEPOSITED FILM
摘要
申请公布号 EP0229707(B1) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 EP19870300222 申请日期 1987.01.12
申请人 CANON KABUSHIKI KAISHA 发明人 ISHIHARA, SHUNICHI;HIROOKA, MASAAKI;HANNA, JUN-ICHI;SHIMIZU, ISAMU
分类号 H01L31/04;C23C16/02;C23C16/452;H01L21/205 主分类号 H01L31/04
代理机构 代理人
主权项
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