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发明名称 LITHOGRAPHIC APPARATUS PERFORMANCE MEASUREMENT
摘要
申请公布号 EP0170013(B1) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 EP19850107227 申请日期 1985.06.13
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 LIN, BURN JENG;TAUR, YUAN
分类号 H01L21/30;G01J1/42;G03F7/20;G03F7/22;G03F9/00;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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