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发明名称 Height or depth measurement using charged particle beam apparatus
摘要
申请公布号 GB2235978(A) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 GB19900020140 申请日期 1990.09.14
申请人 WILLIAM CHARLES * NIXON;JOHN THIAM LEONG * THONG;BERNARD CYRIL * BRETON 发明人 WILLIAM CHARLES * NIXON;JOHN THIAM LEONG * THONG;BERNARD CYRIL * BRETON
分类号 G01B7/28;H01J37/28 主分类号 G01B7/28
代理机构 代理人
主权项
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