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发明名称 METHOD OF FABRICATING A FLAT WAFER
摘要
申请公布号 EP0375258(A3) 申请公布日期 1991.03.20
申请号 EP19890313008 申请日期 1989.12.13
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 KOZE, JEFFREY T.;MILLER, ANTON JOHANN
分类号 H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3105;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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